水切割機高速激光晶圓劃片工藝的特點
發(fā)布者：實遠(yuǎn) 時間：2006-4-16
在劃片-裂片工藝中，PCM圖形必須設(shè)計有直通式劃片槽。金剛石劃片工藝不能通過PCM圖形進(jìn)行連續(xù)劃片。因而PCM圖形必須設(shè)計有劃片槽。這就帶來了PCM圖形測試的問題。但是，對于激光劃片工藝，PCM圖形設(shè)計已不再是一個問題了。PCM圖形可以設(shè)計成有助于當(dāng)前正在完成的測試項目，而不是有助于裂片方法的要求。即使沒有劃片槽，激光劃片工藝也不會中斷。
采用傳統(tǒng)方法裂片時，劃片槽上不能有藍(lán)膜或金屬殘留。采用鋸片切割工藝時，
